1.高精度与无损清洗（最核心的特点）                原理：传统超声波依靠剧烈的空化气泡破裂（爆破力）来清洗，容易对脆弱表面造成“空化腐蚀”。而兆声波频率极高，产生的空化气泡非常微小，能量低，其破裂冲击力很弱。                效果：它能有效去除亚微米（<1μm）甚至纳米级的超细微颗粒污染物……

1、采用日本进口原装发振器和振动板，不做任何更改即可使用不同频率机型。    2、750/950KHz两种频率可选，可提供6/8/12寸晶圆尺寸的清洗功率。    3、清洗均匀，利用105G加速度和化学作用去除微米级颗粒。    4、四种发振模式，使高精密清洗成为可能。    5、1W为输出功率单位，更易于控制清洗损伤……